Introductory MEMS - fabrication and applications
- Författare
- Richard A. Layton Thomas M. Adams
- (Thomas M. Adams, Richard A. Layton.)
- Genre
- Ej skönlitteratur
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Springer | cop. 2010 | USA, New York | xv, 444 sidor. ill. (vissa i färg) 235 mm x 155 mm | 978-0-387-09510-3 |